Spôsob prípravy polysilikónu.

1. Načítavanie

Umiestnite potiahnutý kremenný téglik na teplovýmenný stôl, pridajte kremíkovú surovinu, potom nainštalujte vykurovacie zariadenie, izolačné zariadenie a kryt pece, evakuujte pec, aby ste znížili tlak v peci na 0,05-0,1 mbar a udržujte vákuum. Zaveďte argón ako ochranný plyn, aby sa tlak v peci udržal v zásade okolo 400-600 mbar.

2. Vykurovanie

Na ohrev telesa pece použite grafitový ohrievač, najskôr odparte vlhkosť adsorbovanú na povrchu grafitových častí, izolačnej vrstvy, kremíkových surovín atď., Potom pomaly zahrejte, aby teplota kremenného téglika dosiahla približne 1200 - 1300 °C.℃. Tento proces trvá 4-5 hodín.

3. Topenie

Zaveďte argón ako ochranný plyn, aby sa tlak v peci udržal v zásade okolo 400-600 mbar. Postupne zvyšujte výkon ohrevu, aby ste prispôsobili teplotu v tégliku na približne 1500 °C℃a kremíková surovina sa začne topiť. Nechajte si asi 1500℃počas procesu tavenia až do ukončenia tavenia. Tento proces trvá približne 20-22 hodín.

4. Rast kryštálov

Po roztavení kremíkovej suroviny sa vykurovací výkon zníži, aby teplota téglika klesla na približne 1420-1440℃, čo je teplota topenia kremíka. Potom sa kremenný téglik postupne pohybuje nadol alebo izolačné zariadenie postupne stúpa, takže kremenný téglik pomaly opúšťa ohrievaciu zónu a vytvára tepelnú výmenu s okolím; zároveň cez chladiacu platňu prechádza voda na zníženie teploty taveniny zospodu a na dne sa najskôr vytvorí kryštalický kremík. Počas procesu rastu zostáva rozhranie tuhá látka-kvapalina vždy rovnobežné s horizontálnou rovinou, kým sa nedokončí rast kryštálov. Tento proces trvá približne 20-22 hodín.

5. Žíhanie

Po ukončení rastu kryštálu môže v dôsledku veľkého teplotného gradientu medzi spodnou a vrchnou časťou kryštálu existovať tepelné napätie v ingote, ktorý sa dá ľahko znovu rozbiť počas zahrievania kremíkového plátku a prípravy batérie. . Preto po ukončení rastu kryštálov sa kremíkový ingot udržiava v blízkosti bodu topenia počas 2-4 hodín, aby sa teplota kremíkového ingotu zjednotila a znížilo sa tepelné napätie.

6. Chladenie

Po žíhaní kremíkového ingotu v peci vypnite ohrev, zdvihnite tepelnoizolačné zariadenie alebo kremíkový ingot úplne spustite a do pece zaveďte veľký prúd argónového plynu, aby ste postupne znížili teplotu kremíkového ingotu na takmer izbová teplota; súčasne tlak plynu v peci postupne stúpa, až dosiahne atmosférický tlak. Tento proces trvá približne 10 hodín.